瑞华科技专注第四代半导体材料装备和生产工艺研发——精雕细琢一颗金刚石

　　经过MPCVD（微波等离子体化学气相沉积）、激光切割、雕琢等工序，一颗颗金刚石被制作成散热片等产品，成为半导体基体材料“新贵”。4月22日，位于荆州经开区的湖北瑞华科技有限公司生产车间里，数台自动化切割机并排作业，忙碌有序。

　　“你看，金刚石经过MPCVD，就像蒸馒头一样逐渐变大。”瑞华科技车间主任甘俊伟说，经过“膨胀”的金刚石，在切割机的精细操作下，衬底与生长层被巧妙地分离。生长层既可以被雕琢成熠熠生辉的钻石，也可以被切成薄片，用作高效的散热片。分离出来的衬底可以再次用于MPCVD的生长，循环利用。

　　瑞华科技于2022年11月落户荆州，是一家聚焦高端功能金刚石材料生产的高科技企业，力求在大尺寸、高质量金刚石生长装备及金刚石生长技术上取得重大突破，破解我国在这一领域的技术难题。

　　今年2月，瑞华科技一期项目进入试生产阶段，首批50台机器主要生产散热片、钻石等产品。

　　“钻石就是我们在市面上看到的裸钻，散热片主要运用于集成电路里面，在汽车等行业中发挥着不可或缺的作用。”甘俊伟介绍，所有的电器元件在运行中都会产生热量，随着电路集成度的不断提升，散热需求也日益增长。与传统散热材料相比，金刚石散热能力更强，是铜的5倍，硅的10倍，未来应用场景十分广阔。

　　据介绍，我国是人造金刚石生产大国，但产品主要集中在磨料磨具领域，高端应用尚处于起步阶段，在金刚石功能材料领域长期被国外垄断。

　　瑞华科技办公室主任毛莉介绍，公司研发中心位于武汉，数年前率先在国内布局第四代半导体材料装备和生长工艺研发，推进我国高端金刚石的深度产业化应用，成功研制分子束外延（MBE）和金属有机化学气相沉积（MOCVD）两种半导体材料生长装备与相关工艺。

　　“天然金刚石材料成本较高，我们正致力于加大研发力度，优化生产工艺，用MPCVD法生产出来的金刚石替代天然金刚石。”毛莉说，公司正积极与一些研究所、知名新能源汽车品牌合作，加快金刚石散热片新材料的应用进程。（记者 王丙全 通讯员 刘娟 王大玲）

编辑： 袁超伟